| 图片标题 | 磁悬浮转子真空计工作原理 |
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真空测量技术 正文 测量容器中或某部分空间气体的稀薄程度(即真空度)的技术。真空测量技术在真空电子器件工艺、固态电子器件工艺、集成电路工艺、表面分析技术等领域有广泛应用。真空度常用容器中气体的总压强 P来表示。气体压强的测量单位是牛顿/米2,简称帕(Pa),传统上气体压强单位采用毫米汞柱,后来发现汞的同位素组成不是唯一的,故在1971年国际计量会议规定 1标准大气压=101325.0帕=760托 (Torr)1毫米汞柱(mmHg)和… [ 进入词条 ][ 进入真空测量技术维吧 ] |
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