使用经醋酸稀释过的氟硝酸蚀刻液，可做硅的各向同性蚀刻。 　　以湿式工艺进行硅的各向同性蚀刻时，将氟酸（HF）与硝酸（HNO3）混合成为氟硝酸，再用醋酸加以稀释的蚀刻液。如果使用的蚀刻液氟酸配比较高，则蚀刻出的棱角较为尖锐。反之，如果硝酸的比率高，则棱角会较圆滑扁平（图1）。各向同性湿式蚀刻图1 硅的各向同性蚀刻及化学反应式　　硝酸与水及亚硝酸（HNO2）反应产生亚硝酸及空穴（h＋），该空穴可使硅氧化。氧化了的二氧化硅（SiO2）可由氟… [ 进入词条 ][ 进入各向同性湿式蚀刻维吧 ]