低温泵Cryopump（cold pump | cryogenic pump | cryovacuum pump | low temperature pump） 利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵是获得清洁真空的极限压力最低、抽气速率最大的真空泵,广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产,以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。 抽气原理 　在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度… [ 进入词条 ][ 进入低温泵维吧 ]