通过机械、物理或化学等手段在特定容器中获得真空的专门技术。用以产生、改善和维持真空的装置称为真空泵。真空获得技术在真空电子器件工艺、固态电子器件工艺、集成电路工艺和各种真空设备中得到广泛应用。 真空泵对容器的排气方程式为 　　　　 (1)等式左边表示单位时间由容器流到泵里的气体量，数值上等于SP，这个SP称为排气量，用Q表示。t=0时,容器内的压强为P1,则由(1)式可以得到容器内压强P随时间的变化为 　　　　 (2)当t→∞时,P→0… [ 进入词条 ][ 进入真空获得技术维吧 ]